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當(dāng)前位置:首頁 >產(chǎn)品中心>半導(dǎo)體前處理>安賽斯勻膠機(jī)/旋涂?jī)x>HC160PE帶自動(dòng)點(diǎn)膠6英寸安賽斯可編程勻膠機(jī)

帶自動(dòng)點(diǎn)膠6英寸安賽斯可編程勻膠機(jī)

簡(jiǎn)要描述:帶自動(dòng)點(diǎn)膠6英寸安賽斯可編程勻膠機(jī) 采用高效、節(jié)省空間的設(shè)計(jì);全彩觸屏操作;高級(jí)PLC控制;化學(xué)兼容性;高精度,高重復(fù)性。

  • 產(chǎn)品型號(hào):HC160PE
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2025-11-18
  • 訪  問  量:2688

詳細(xì)介紹

帶自動(dòng)點(diǎn)膠6英寸安賽斯可編程勻膠機(jī)

 

帶自動(dòng)點(diǎn)膠6英寸安賽斯可編程勻膠機(jī) 

產(chǎn)品介紹:


名稱:6英寸可編程勻膠機(jī)

型號(hào):HC160PE

應(yīng)用: HC160PE可編程勻膠機(jī)是在HC160SE的基礎(chǔ)上,增加一路自動(dòng)點(diǎn)膠系統(tǒng),滿足小批量實(shí)驗(yàn)制樣的需求。被設(shè)計(jì)為涂膠處理基片尺寸為直徑5mm~160mm6英寸)或?qū)?yīng)的方片,使用工業(yè)級(jí)直流馬達(dá)和PLC控制,4.3英寸全彩觸屏人機(jī)界面操作,簡(jiǎn)單易用。


產(chǎn)品概述


帶自動(dòng)點(diǎn)膠6英寸安賽斯可編程勻膠機(jī)制膜的原理:在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)??捎糜谖㈦娮?、半導(dǎo)體、新能源、生物材料、納米材料等領(lǐng)域高質(zhì)量薄膜涂層的制備。

HC160PE可編程勻膠機(jī),被設(shè)計(jì)為涂膠處理基片尺寸為直徑5mm~160mm或?qū)?yīng)的方片,使用工業(yè)級(jí)直流馬達(dá)和PLC控制,4.3英寸全彩觸屏人機(jī)界面操作,簡(jiǎn)單易用。該型號(hào)勻膠機(jī)在材料、化學(xué)或生物等實(shí)驗(yàn)室被廣泛用于薄膜制備,納米薄膜研究等相關(guān)領(lǐng)域。

??HC160PE勻膠機(jī)設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)為結(jié)構(gòu)緊湊、簡(jiǎn)單易用,程控操作,尺寸上可從通用的手套箱過渡艙內(nèi)進(jìn)出,具有優(yōu)異的性價(jià)比。亦可提供分體式設(shè)計(jì),進(jìn)行嵌入式安裝,與手套箱進(jìn)行配合。


產(chǎn)品特點(diǎn):


 設(shè)計(jì)緊湊,可輕松放置在手套箱內(nèi)使用;

 HDPE高分子材料旋涂?jī)?nèi)腔,耐腐蝕;采用分體式結(jié)構(gòu),易清潔和移動(dòng);

 4.3英寸彩色觸屏控制,易學(xué)易用;可精確設(shè)置實(shí)驗(yàn)參數(shù),運(yùn)行狀態(tài)實(shí)時(shí)顯示;

 采用高級(jí)PLC程序控制,旋涂速度、旋涂時(shí)間、加速度等工藝參數(shù)可編程,實(shí)現(xiàn)快速旋涂和多步編程旋涂;

 具有電機(jī)進(jìn)膠保護(hù)功能;管路易疏通結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì);

 轉(zhuǎn)速、加速度、時(shí)間、真空泵關(guān)/停、自動(dòng)吸片、自動(dòng)釋放均可在觸屏上操作。

 可設(shè)置用戶密碼保護(hù)功能;

 帶真空檢測(cè)安全互鎖,當(dāng)真空度不足時(shí),設(shè)備停止運(yùn)行,防止飛片;且此功能可在設(shè)置中關(guān)閉;

 帶蓋子檢測(cè)安全互鎖,當(dāng)沒有關(guān)好蓋子時(shí),設(shè)備停止運(yùn)行,確保操作安全;且此功能可在設(shè)置中關(guān)閉;

 帶排廢接口;

 帶一路自動(dòng)點(diǎn)膠系統(tǒng);


技術(shù)參數(shù):


 適用晶元尺寸范圍:直徑5~160mm;

 旋涂速度:100~12000rpm;轉(zhuǎn)速分辨率:1rpm;

 旋涂加速度:100-30000rpm/s

 最大旋涂時(shí)間:3000s;旋涂時(shí)間精度:0.1s

 內(nèi)腔直徑220mm,內(nèi)腔采用獨(dú)特的凹面防濺設(shè)計(jì);

 具備單步快速旋涂和多步編程旋涂,可編程100組程序,每組程序10步;

 電源輸入:AC200-230V


自動(dòng)點(diǎn)膠系統(tǒng)參數(shù):


 流量范圍:0.006-1340毫升/分鐘;

 流量精度:<0.5%;

 轉(zhuǎn)速范圍:0.1350(轉(zhuǎn)/分鐘);

 轉(zhuǎn)速分辨率:0.1(轉(zhuǎn)/分鐘);

 電源電壓:AC 220V±10%,50Hz/60Hz(標(biāo)配);

  率:小于40W;

 外控接口:外控輸入電平5V、12V(標(biāo)配)、24V(選配);

 外控?cái)?shù)字通訊接口:RS485通訊,支持MODBUS協(xié)議;

 環(huán)境溫度: 40℃ ;

 相對(duì)濕度:<80%;

 防護(hù)等級(jí):IP31

 機(jī)箱尺寸:(長×寬×高)255mm×181mm×198mm;

  量:4.7KG

 

帶自動(dòng)點(diǎn)膠6英寸安賽斯可編程勻膠機(jī) 

帶自動(dòng)點(diǎn)膠6英寸安賽斯可編程勻膠機(jī) 

 

帶自動(dòng)點(diǎn)膠6英寸安賽斯可編程勻膠機(jī) 

帶自動(dòng)點(diǎn)膠6英寸安賽斯可編程勻膠機(jī) 

帶自動(dòng)點(diǎn)膠6英寸安賽斯可編程勻膠機(jī) 

 

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